賀德克壓力傳感器是使用zui爲廣泛的一種傳感器。傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件爲主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結構尺寸大、質量重，不能提供電學輸出。随著半導體技術的發展，半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕
、準確度高、溫度特性好。特别是随著MEMS技術的發展，半導體傳感器向著微型化發展，而且其功耗小、可靠性高。

半導體壓電阻型

半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變(biàn)形壓力，通過外力（壓力）使薄片變(biàn)形而産(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變(biàn)化轉換成電信号。

賀德克壓力傳感器

靜電容量型壓力傳感器，是将玻璃的固定極和矽的可動極相對而形成電容，将通過外力（壓力）使可動極變(biàn)形所産生的靜電容量的變(biàn)化轉換成電氣信号。 （E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機種採(cǎi)用半導體方式）。

技術參數：

技術(shù)參(cān)數 （量程15MPa-200MPa）

參(cān)數 單(dān)位 技術指标 參(cān)數 單(dān)位 技術指标

靈(líng)敏度 mV/V 1.0±0.05 靈(líng)敏度溫度系數(shù) ≤%F·S/10℃ ±0.03

非線性 ≤%F·S ±0.02～±0.03 工作溫度範(fàn)圍(wéi) ℃ -20℃～+80℃

滞後(hòu) ≤%F·S ±0.02～±0.03 輸入電(diàn)阻 Ω 400±10Ω

重複(fù)性 ≤%F·S ±0.02～±0.03 輸出電(diàn)阻 Ω 350±5Ω

蠕變(biàn) ≤%F·S/30min ±0.02 安全過(guò)載 ≤%F·S 150% F·S

零點(diǎn)輸出 ≤%F·S ±2 絕緣電(diàn)阻 MΩ ≥5000MΩ(50VDC)

零點(diǎn)溫度系數 ≤%F·S/10℃ ±0.03 推薦激勵電(diàn)壓 V 10V-15V